반도체 & 디스플레이 장비 제작 전문업체
탄탄하고 차별화된 기술력을 바탕으로 고객 여러분께 고품질의 제품과 신뢰를 드립니다.
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진공 & 가압 System |
Chamber 설계 |
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변형 해석 | |
진공 기술(저진공, 고진공) | |
Purifier 및 GAS Control |
Heater (반도체/디스플레이) |
온도 균일도 (열선 Patten설계) |
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공정 조건 (진공/GAS 기류) | |
사용 온도 | |
정밀 제어 기술 | Multi Loop Control |
Single Loop Control |
항목 | Multi Loop Control | Single Loop Control | |
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제어 | Single Zone | O | O |
Multi Zone | O | X | |
제어정밀도 (Sampling Time) | High | Low |
Multi Loop Control | Single Loop Control |
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안정화 Time 短 |
안정화 Time 長 |
Multi Loop Control |
Grinder System | 구조 및 자동화 설계 |
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고속 스핀들 & 연삭 휠 | |
Stage/Gantry 설계 | |
정밀 제어 기술 | Vision & S/W 기술 |
Stage/Gantry 제어 |