반도체 & 디스플레이 장비 제작 전문업체
탄탄하고 차별화된 기술력을 바탕으로 고객 여러분께 고품질의 제품과 신뢰를 드립니다.
요소기술
진공챔버
| 진공 & 가압 System |
Chamber 설계 |
|---|---|
| 변형 해석 | |
| 진공 기술(저진공, 고진공) | |
| Purifier 및 GAS Control |
-
진공 Pump 배관
-
진공 monitoring
-
Chamber 변형 해석
히터기술
| Heater (반도체/디스플레이) |
온도 균일도 (열선 Patten설계) |
|---|---|
| 공정 조건 (진공/GAS 기류) | |
| 사용 온도 | |
| 정밀 제어 기술 | Multi Loop Control |
| Single Loop Control |
- Multi Loop Control
- – Zone 승온 기울기 Control
- – Over Shutting 無
- – Multi Zone 온도 안정화 Time 최소
| 항목 | Multi Loop Control | Single Loop Control | |
|---|---|---|---|
| 제어 | Single Zone | O | O |
| Multi Zone | O | X | |
| 제어정밀도 (Sampling Time) | High | Low | |
| Multi Loop Control | Single Loop Control |
|---|---|
 안정화 Time 短 |
 안정화 Time 長 |
 Multi Loop Control |
|
정밀제어&검사기술
| Grinder System | 구조 및 자동화 설계 |
|---|---|
| 고속 스핀들 & 연삭 휠 | |
| Stage/Gantry 설계 | |
| 정밀 제어 기술 | Vision & S/W 기술 |
| Stage/Gantry 제어 |
-
Vision Scratch 검사기
-
Vision Defect 검사기
-
고속 스핀들/정밀 Stage 기술
-
미세 연마 기술